Thomas Lautenschläger

Wissenschaftlicher Mitarbeiter / Doktorand / Ionenimplantation und Ionenquellenentwicklung / Physikalische Abteilung

Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e. V.
Permoserstr. 15 / 04318 / Leipzig /


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  1. C. Bundesmann, T. Lautenschläger, D. Spemann, A. Finzel, M. Mensing, F. Frost,
    Correlation of process parameters and properties of TiO2 films grown by ion beam sputter deposition from a ceramic target
    Eur. Phys. J. B. 90 (2017) 187 (1-11)

  2. C. Bundesmann, R. Feder, T. Lautenschläger, M. Mateev, D. Spemann,
    Sytematics in Ion Beam Sputter Deposition
    23rd International Conference on Ion-Surface Interactions (ISI-2017), Moscow, 21.-25.08. (2017) Volume 1, 31-36

  3. C.Bundesmann, T. Lautenschläger, D. Spemann, A. Finzel, E. Thelander, M. Mensing, F. Frost,
    Systematic investigation of the properties of TiO2 films grown by reactive ion beam sputter deposition
    Appl. Surf. Sci. 421 (2017) 331-340

  4. T. Lautenschläger, C. Bundesmann,
    Reactive ion beam sputtering of Ti: Influence of process parameters on angular and energy distribution of sputtered and backscattered particles
    J. Vac. Sci. Technol. A 35 (2017) 041001

  5. C. Bundesmann, R. Feder, T. Lautenschläger, D. Spemann,
    Ionenstrahlgestützte Schichtabscheidung: Zusammenhänge zwischenProzessparametern, Teilchen- und Schichteigenschaften
    12. Thementage Grenz- und Oberflächentechnik (ThGOT) und 5. Kolloquium Dünne Schichten in der Optik, Zeulenroda, 14.-16.03. (2017)

  6. C. Bundesmann, T. Lautenschläger, E. Thelander, D. Spemann,
    Reactive Ar ion beam sputter deposition of TiO2 films: Influence of process parameters on film properties
    Nucl. Instrum. Meth. B 395 (2017) 17-23

  7. T. Lautenschläger, R. Feder, H. Neumann, C. Rice, M. Schubert, C. Bundesmann,
    Ion beam sputtering of Ti: Influence of process parameters on angular and energy distribution of sputtered and backscattered particles
    Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B 385 (2016) 30-39

  8. C. Bundesmann, R. Feder, T. Lautenschläger, H. Neumann,
    Energy Distribution of Secondary Particles in Ion Beam DepositionProcess of Ag: Experiment, Calculation and Simulation
    Contrib. Plasma Phys. 55 (2015) 737-746

  9. C. Bundesmann, R. Feder, T. Lautenschläger, H. Neumann,
    Energy Distribution of Secondary Particles in Ion Beam DepositionProcess of Ag: Experiment, Calculation and Simulation
    Contrib. Plasma Phys. 55 (2015) 737-746


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