Kontrollierte Selbstorganisation bei der niederenergetischen Ionenstrahlerosion von Silizium-Oberflächen durch Vorstrukturierung
Dr. B. Ziberi
Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V.
Bisher charakteristisch für alle Selbstorganisationsprozesse sind
die eingeschränkte Kontrolle bzgl. der langreichweitigen Ordnung
sowie die exakte Positionierung der Einzelstrukturen auf der jeweiligen
Probenoberfläche. In diesem Teilprojekt sollen deshalb, den Prinzipien
der kontrollierten Selbstorganisation folgend, konventionelle lithographische
Strukturierungsmethoden mit ionenstrahlinduzierten Selbstorganisationsphänomenen
verbunden werden um so die spezifischen Vorteile beider Ansätze
zu vereinen. Exemplarisch sollen detaillierte experimentelle Untersuchungen
zur kontrollierten Selbstorganisation bei der Ionenstrahlerosion von
Siliziumoberflächen durchgeführt werden. Ausgehend von den
eigenen Voruntersuchungen sollen insbesondere die Grundlagen der Musterbildung
auf vorstrukturierten Oberflächen untersucht und aufgeklärt
werden. Schwerpunkte des Projektes sind Herstellung und Charakterisierung
geeignet vorstrukturierter Oberflächen, Untersuchungen des Selbstorganisationsprozesses
auf diesen Oberflächen, Exploration zukünftiger Anwendungen
sowie Schlussfolgerungen zur technologischen Umsetzung der Ergebnisse.
Mittelfristig wird angestrebt, den Prozess der kontrollierten Selbstorganisation
bei Ionenstrahlerosion als neues Werkzeug für die großflächige
Nanostrukturierung und damit verbundene neue Anwendungen zu etablieren.
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