Plasma-Immersions- Ionenimplantation

Plasma-Immersions-  und Ionenimplantation
Wachstum von TiO2-Nanostrukturen nach der Sauerstoff-Ionenimplantation

Das Arbeitsgebiet umfasst sowohl die Modifizierung von Oberflächen mit energetischen Ionen als auch die Prozesscharakterisierung. Zusätzlich wird noch ein Werkstofflabor zur mechanischen Prüfung und Charakterisierung der Oberflächen betrieben. Mit Breitstrahl-Ionenquellen können niederenergetische Ionen großflächig implantiert werden. Bei der Plasma-Immersions-Ionenimplantation (PIII) werden positive Ionen durch das Anlegen negativer Hochspannungspulse direkt aus dem Plasma in die Oberfläche implantiert. Vorteile der Verfahren sind die großflächige und schnelle Implantation. Die Untersuchungen konzentrieren sich u.a. auf die Niederenergie-Breitstrahl-Ionenimplantation zur großflächigen Modifizierung von Oberflächen, Nitrieren von austenitischen Edelstählen, Oberflächenmodifizierung von CoCr-Legierungen zur Erhöhung der Biokompatibilität, Kombination von PIII und Beschichtungsverfahren für verbesserte Grenzflächendurchmischung und Adhäsion von dünnen Schichten.

Ausgewählte Publikationen

  • D. Manova, C. Günther, A. Bergmann, S. Mändl, H. Neumann, B. Rauschenbach, Influence of Temperature on Layer Growth as Measured by in-situ XRD Observation of Nitriding Austenitic Stainless Steel, Nucl. Instrum. Meth. B 307 (2013), 310–314.

  • J. Lutz, C. Díaz, J.A. García, C. Blawert, S. Mändl, Corrosion Behaviour of Medical CoCr Alloy After Nitrogen Plasma Immersion Ion Implantation, Surf. Coat. Technol. 205 (2011), 3043–3049.

  • A. Gjevori, J.W. Gerlach, D. Manova, W. Assmann, E. Valcheva, S. Mändl,
    Influence of Auxiliary Plasma Source and Ion Bombardment on Growth of TiO2 Thin Films, Surf. Coat. Technol. 205 (2011), 232–234.