Laserstrahlgestützte Strukturierung und Anwendungen

Laserstrahlgestützte Strukturierung
Energiedispersive röntgenspektroskopische (EDX) Aufnahme einer Pikosekundenlaser-strukturierten Kupfer-Indium-Gallium-Diselenid (CIGS) Solarzelle mit Molybdän-Rückkontakt und Indium-Zinnoxid-Frontkontakt

Die Forschergruppe beschäftigt sich mit der Entwicklung laserinduzierter Prozesse zur Modifizierung und Strukturierung von Oberflächen und dünnen Schichten mit Anwendungsbereichen in der Mikro- und Nanotechnologie. Hierbei wird neben der Aufklärung der physikalischen Ursache des Laser­prozesses eine Optimierung des Prozesses (geringe Strukturbreiten, präzise Einstellung der Abtragstiefe, selektiver Schichtabtrag, geringstmögliche Schädigung von Materialien oder Bau­elementefunktionen) angestrebt. Die Modifizierung und Strukturierung erfolgt bevorzugt mit ultrakurzen Laserpulsen, die nichtthermische Laserphotonen-Material-Wechselwirkungen anregen und damit neue Materialbearbeitungsprozesse ermöglichen. Neben der Laserablation werden zunehmend auch innovative laserinduzierte Prozesse zur Mikro-/Nanostrukturierung und Materialmodifizierung genutzt.

Ausgewählte Publikationen

  • X. Wang, M. Ehrhardt, P. Lorenz, C. Scheit, S. Ragnow, X.W. Ni, K. Zimmer, In-process measuring of the electrical shunt resistance of laser-scribed thin-film stacks by nested circular scribes, Rev. Sci. Instr. 84 (2013), 104704.
  • M. Ehrhardt, P. Lorenz, F. Frost, K. Zimmer, Fabrication of sub-microstructures in solid copper surfaces by inverse laser microembossing, Applied Physics A: Materials Science & Processing 111 (2013), 517-523.
  • M. Ehrhardt, A. Wehrmann, P. Lorenz, K. Zimmer, Patterning of CIGS thin films induced by rear-side laser ablation of polyimide carrier foil, Applied Physics A 113 (2013), 309-313

  • A. Wehrmann, S. Puttnins, L. Hartmann, M. Ehrhardt, P. Lorenz, K. Zimmer, Analysis of laser scribes at CIGS thin-film solar cells by localized electrical and optical measurements, Optics & Laser Technology 44 (2012), 1753-1757.
  • K. Zimmer, M. Ehrhardt, R. Böhme, Laser-Induced Backside Wet Etching: Processes, Results, and Applications, in: G. Yang (Ed.) Laser Ablation in Liquids, Pan Stanford Publishing Singapore (2012), 1013 - 1132.