Oberflächenanalytik

Oberflächenanalytik
Röntgen-Photoelektronen-Spektrometer (XPS) KRATOS Axis ULTRA DLD

Zur Unterstützung der Forschungs- und Entwicklungsarbeiten am IOM, aber auch für auswärtige Nutzer, wurde das Servicethema “Festkörper- und Oberflächenanalyse” etabliert. Aufgabe ist die Bestimmung der Eigenschaften von Oberflächen, dünnen Schichten und Festkörpern, wie z. B. der Zusammensetzung, Struktur und Topographie. Dazu stehen u.a. folgende Methoden zur Verfügung:

  • Abbildende Verfahren zur Topographiecharakterisierung, wie Rasterelektronenmikroskopie (SEM), Raster-Tunnel-Mikroskopie (STM), verschiedene Varianten der Rasterkraftmikroskopie (AFM, MFM, CF-AFM, EFM)
  • Verfahren zur Strukturaufklärung, wie Röntgendiffraktometrie (XRD), einschließlich Röntgenreflektometrie (XRR) und Texturanalyse
  • Verfahren zur Bestimmung der chemischen Zusammensetzung, wie  Röntgen-Photoelektronen-Spektroskopie (XPS), Sekundärionenmassenspektrometrie (SIMS), Auger-Elektronenspektroskopie (AES) und Energiedispersive Röntgenstrahlanalyse (EDX).

Ausgewählte Publikationen

  • B. Khanbabaee, B. Arezki, A. Biermanns, M. Cornejo, D. Hirsch, D. Lützenkirchen-Hecht, F. Frost, U. Pietsch, Depth profile investigation of the incorporated iron atoms during Kr+ ion beam sputtering on Si (001), Thin Solid Films 527(1) (2013), 349-353.
  • P. Thomsen-Schmidt, K. Hasche, G. Ulm, K. Herrmann, M. Krumrey, G. Ade, J. Stümpel, I. Busch, S. Schädlich, A. Schindler, W. Frank, D. Hirsch, M. Procop, U. Beck, Realisation and metrological characterisation of thickness standards below 100 nm, Applied Physics A 2 (2004) 78(5), 645-649.