Nichtkonventionelle Ultrapräzisions-Oberflächenbearbeitung

Plasmajet
Bearbeitung einer präzisions-optischen Oberfläche mit einem reaktiven Plasmajet

Komplexe Oberflächenformen wie Asphären und Freiformflächen für Ultrapräzisionsoptiken müssen zunehmend mit Fertigungstoleranzen von wenigen Nanometern hergestellt werden. Das gilt sowohl bezüglich der langwelligen Form als auch im Bereich der kurzwelligen Mikrorauheit. Um diesen Anforderungen gerecht zu werden, werden neuartige Bearbeitungswerkzeuge mit Wirkmechanismen auf atomarer Skala erforscht. Die Arbeitsgruppe befasst sich insbesondere mit grundlegenden Untersuchungen zu chemisch reaktiven Atmosphärendruck-Plasmajets und niederenergetischen Ionenstrahlen und entwickelt daraus deterministische Technologien zur Ultrapräzisionsbearbeitung von Oberflächen bis hin zu industrietauglichen Prozessketten. In enger Zusammenarbeit mit Unternehmen aus Optik und Maschinenbau werden die Forschungsergebnisse zur Anwendungsreife gebracht und in die industrielle Praxis überführt.

Ausgewählte Publikationen

  • Th. Arnold, G. Böhm, Application of atmospheric plasma jet machining (PJM) for effective surface figuring of SiC, Precision Engineering 36 (2012), 546-553.

  • Th. Arnold, G. Böhm, R. Fechner, J. Meister, A. Nickel, F. Frost, T. Haensel, A. Schindler, Ultra-precision surface finishing by ion beam and plasma jet techniquesstatus and outlook, Nucl. Instrum. Meth. A 616 (2010), 147-156.