C. Bundesmann, H. Neumann,
J. Appl. Phys. 124 (2018) 231102
https://doi.org/10.1063/1.5054046

Dieser Artikel umfasst die Grundlagen und das Anwendungspotential der ionenstrahlgestützten Schichtabscheidung für die Herstellung dünner Schichten mit maßgeschneiderten Eigenschaften. Anhand ausgewählter Beispiele wird das einzigartige Potential des Abscheideverfahrens beschrieben.

C. Bundesmann, A. Hellmich,
J. Vac. Sci. Technol. B 38 (2020) 064002
https://doi.org/10.1116/6.0000516

Systematische Untersuchungen der Eigenschaften der Sekundärteilchen in Abhängigkeit von verschiedenen Prozessparametern für den Beschuss eines Zinn-dotierten Indiumoxidtargets mit Ar-Ionen sind beschrieben. Die Teilcheneigenschaften hängen zuvorderst von der Prozessgeometrie ab, aber auch von der Primärionenenergie.

D. Kalanov, A. Anders, C. Bundesmann
J. Vac. Sci. Technol. A 37 (2019) 051507
https://doi.org/10.1116/1.5114973

Die Eigenschaften der Sekundärteilchen für den Beschuss eines Si-Targets wurden in Abhängigkeit von verschiedenen Prozessparametern systematisch untersucht. Es wird gezeigt, dass die Teilcheneigenschaften im Wesentlichen durch die Prozessgeometrie und die Primärionensorte bestimmt werden.

M. Mateev, T. Lautenschläger, D. Spemann, A. Finzel, J.W. Gerlach, F. Frost, C. Bundesmann
Eur. Phys. J. B 91 (2018) 45
https://doi.org/10.1140/epjb/e2018-80453-x

Diese Arbeit fasst die systematischen Untersuchungen der ionenstrahlgestützten Schichtabscheidung von SiO2-Schichten zusammen. Beschrieben sind die Zusammenhänge zwischen verschiedenen Prozessparametern und ausgewählten Schichteigenschaften.

L. Pietzonka, T. Lautenschläger, D. Spemann, A. Finzel, J.W. Gerlach, F. Frost, C. Bundesmann
Eur. Phys. J. B 91 (2018) 252
https://doi.org/10.1140/epjb/e2018-90293-3

Diese Arbeit fasst die systematischen Untersuchungen der ionenstrahlgestützten Schichtabscheidung von TiO2-Schichten zusammen. Beschrieben sind die Zusammenhänge zwischen verschiedenen Prozessparametern und ausgewählten Schichteigenschaften.