Oberflächen- und Dünnschichtanalytik

Zur Charakterisierung der in unseren Forschungsthemen präparierten Proben und Halbfabrikate steht eine breite analytische Ausrüstung zur Verfügung. Insbesondere werden Oberflächentopologie, Kristallstruktur und chemische Zusammensetzung oberflächennaher Bereiche untersucht.

Im begrenzten Umfang stehen die Geräte der Oberflächen und Dünnschichtanalyse auch für Service-Leistungen für Partner außerhalb des Instituts zur Verfügung.

Es stehen folgende Geräte zur Verfügung:

Rasterelektronenmikroskop mit energiedispersivem Röntgenspektrometer (SEM/EDX)
Transmissionselektronenmikroskop mit energiedispersivem Röntgenspektrometer (TEM-STEM/EDX)
Rasterkraftmikroskope (AFM)
Flugzeit-Sekundärionenmassenspektrometer (TOF-SIMS)
Röntgenreflektometer und -diffraktometer (XRR/XRD)
Totalreflexionsröntgenfluoreszenzpektrometer (TXRF)
Röntgenphotoelektronenspektrometer (XPS)
Reflexionshochenergieelektronenbeugung (RHEED)
Einwellenlängen-Interferometer
Weißlichtinterferometer
Optisches Autofokusprofilometer
Ellipsometer
Nanohärtemessgerät
Mechanische Profilometer

ION-TOF TOF-SIMS

AFM Veeco Dimension 3000

Kontakt

Dietmar Hirsch
Tel.: +49 (0)341 235-3313, email: dietmar.hirsch (at) iom-leipzig (Punkt) de