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PlasmapolymerisationMit Hilfe der Plasmapolymerisation lassen sich sehr dünne organische bzw. anorganische Schichten mit Dicken im Bereich einiger hundert Nanometer auf Kunststoffen und anderen Substraten abscheiden. Das IOM betreibt dazu eine PECVD-Technikumsanlage, die großflächige Beschichtungen bis zu etwa 800 x 800 mm ermöglicht. Durch geeignete Wahl der Monomere und der Prozessgase sowie der Parameter, unter denen die Plasmapolymerisation durchgeführt wird, lassen sich Funktionsschichten mit einem breiten Spektrum möglicher Eigenschaften erzeugen, die für eine Reihe von Anwendungen wie z.B. Kratzfestschichten, Hochbarriereschichten, Antihaftschichten sowie für spezielle Applikationen in der Medizin- oder Mikrosystemtechnik von Interesse sind.
Kontakt
Dr. Tom Scherzer
Axel Sobottka Siehe auch
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