Frühjahrsitzung 2003 des Arbeitskreises Plasmaoberflächentechnologie

(zur Homepage des AK Plasma)

19.-20.05.2003, IOM Leipzig
Permoserstraße 15, 04318 Leipzig

Programm

Montag, 19. Mai 2003

11.00 - 14.00 Uhr Sitzung des Koordinierungsausschusses*
(*Nur für Mitglieder des Ausschusses)
Geb. 17.0, Konferenzraum 1.01

15.00 –17.00 Uhr Besichtigungen
Organisation: Frau A. Wedemann, Tel: 0341/235 2308,
E-Mail: wedemann@uni-leipzig.de

Eine Anmeldung bis zum 09.05.2003 ist für die Organisation der Führungen
dringend erforderlich! Bitte eine Führung auswählen!

A: Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung (IOM) e. V.
(Institutsbesichtigung)

B: Bruker Daltonik GmbH
(Hersteller von Massenspektrometern)

C: Siemens AG
(Hersteller von Mobiltelefonen)

Treffpunkt für alle Führungen ist vor dem Geb. 17.0 des IOM Leipzig, Permoserstraße 15, 04318 Leipzig um 15 Uhr.

17.00 - 18.00 Uhr Sitzung des Fachausschusses Plasmabehandlung von Polymeren
Geb. 17.0, Konferenzraum 1.01

ab 19.30 Uhr Zwangloses Zusammenkommen (Stammtisch)
im Auerbachs Keller, Mädler Passage, Leipzig
Tel.: 0341 / 21 61 00

Dienstag, 20. Mai 2003

09.00 – 12.30 Uhr Workshop
Schwerpunktthema „Plasma- und Ionenstrahlverfahren für Optik und Elektronik"
Geb. 32, Seminarraum in der ersten Etage

09.00 – 09.15 Uhr Begrüßung
Prof. Rauschenbach, IOM Leipzig

09.15 - 09.45 Uhr Ionenstrahltechniken für Hochleistungsoptiken
Prof. Schwabe, NTGL GmbH Leipzig

09.45 – 10.15 Uhr Der Einsatz ionengestützter Verfahren in der präzisionsoptischen Industrie am Beispiel der JENOPTIK Laser, Optik, Systeme GmbH
Dr. Bernitzki, Jenoptik Jena

10.15 – 10.45 Uhr Anwendungen der ionenstrahlgestützten Schichtabscheidung für EUV-Multilayeroptiken
Prof. Rauschenbach, IOM Leipzig

10.45 – 11.15 Pause

11.15 - 11.45 Uhr Ionenunterstützte Abscheidung feinoptischer Schichten
Dr. Fukarek, Leybold Optics GmbH Dresden

11.45 – 12.15 Uhr Breitstrahlionenquellen unterschiedlichster Plasmaanregungsprinzipien
H. Neumann, IOM Leipzig

12.15 - 12.45 Uhr Plasma-PVD für "Nano-Flash"-Speicher auf der Basis von Silizium-Nanokristallen
J. Schmidt, FZ Rossendorf, Dresden

12.45- 14.00 Mittagsimbiss / Mittagessen

14.00 – 15.30 Uhr Mitgliederversammlung
Geb. 32, Seminarraum in der ersten Etage

TOP 1: Genehmigung der Tagesordnung
TOP 2: Genehmigung des Protokolls der Herbstsitzung 2002
TOP 3: Bericht zur PSE2004/AEPSE 2003 (Prof. Rie/ Prof. Bräuer/ Dr. Reichel)
TOP 4: Evaluierung des BMBF-Förderschwerpunktes Plasmatechnik (Dr. Reichel)
TOP 5: Deutsch-Koreanische Zusammenarbeit (Prof. Rie)
TOP 6: Bericht über die Arbeit des Fachausschusses Plasmabehandlung von Polymeren (Dr. Oehr)
TOP 7: Bericht über die Arbeit des Fachausschusses Normung / Standardisierung (Prof. Reiners)
TOP 8: Bericht des Vorsitzenden des Koordinierungsausschusses (Dr. Grün)
TOP 9: Wahl der Mitglieder des Koodinierungsausschusses für die Amtsperiode 2003 –2006
TOP 10: Verschiedenes