Vortragsprogramm
| Dienstag, 18. März
2003 |
H.
Neumann |
| 9.00 |
Begrüßung und Informationen der Veranstalter |
| 9.15 |
Th. Chassé,
Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung Leipzig
"Moderne elektronenspektroskopische
Methoden der Oberflächenanalytik" (7 MB) |
| 10.00 |
Thomas Welzel,
Technische Universität Chemnitz
"Zeitaufgelöste
Doppelsondenmessungen an gepulsten Magnetrons" |
| 10.20 |
Mirko Nitschke,
D. Schmaljohann, D. Beyerlein, C. Werner, Institut für Polymerforschung
Dresden
"Plasmaimmobilisierung
von Hydrogelen mit thermo-reversiblen Eigenschaften" |
| 10.40 |
Pause |
J. Meichsner |
| 11.00 |
Jürgen W.Gerlach,
Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung Leipzig
"Ionenstrahlgestützte GaN-Schichtbildung und Epitaxie
in unterschiedlichen Ionenenergieregimen" |
| 11.20 |
Gabi Thieme,
H. Kersten*, E.-M.-Arndt-Universität Greifswald, *Institut
für Nieder-
plasmaphysik Greifswald
"Verhalten
von mikrodispersen Teilchen in einem DC-Magnetronplasma" |
| 11.40 |
Thomas Schwarz-Selinger,
Max-Planck-Institut für Plasmaphysik Garching
"Bestimmung
des Ionenflusses aus einem Wasserstoff-ICP-Plasma mittels energiedispersiver
Massenspektrometrie: Erste Erfahrungen mit dem PPM 422" |
| 12.00 |
Klaus Ellmer,
Hahn-Meitner Institut Berlin
"Kurze
Geschichte des Magnetronsputterns"
|
| 12.20 |
Mittagspause |
H. Kersten |
| 13.30 |
|
| 14.15 |
D. Pasedag,
K.V. Kozlov, R. Brandenburg, P. Michel, H.-E. Wagner, E.-M.-Arndt-
Universität Greifswald
"Spektroskopie an Plasmastrahlen
bei Atmosphärendruck" |
| 14.35 |
G. Vollweiler,
Hahn-Meitner Institut Berlin
"Epitaktisches Wachstum von
ZnO-Schichten auf verschieden orientierten Saphir-Einkristallen" |
| 14.55 |
J. Dienelt,
K. Zimmer, Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung
Leipzig
"Trockenätzen
von GaAs mit gepulstem Ionenstrahl" |
| 15.15 |
A. Köhler, Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung
Leipzig
"Zwischenschichtbildung und Mo-Kristallisation
bei der Mo-Si-Multischichtherstellung mittels Ionenstrahlzerstäubung" |
| 15.35 |
Pause |
W. Jacob |
| 16.10 |
J. Meinhardt,
R. Mehnert, W. Bondzio*, E. Dayss** ; IOM; * LPKF Laser&Electronics
AG Garbsen;**MLU Halle-Wittenberg
"Einfluß der Prozessparameter
und der Substrate auf die Eigenschaften fluorhaltiger
Plasmapolymere" |
| 16.30 |
H.-P- Harmann, Justus-Liebig-Universität
Gießen
"Überblick über die Materialbearbeitungsionenquellen
in Gießen" |
| 16.50 |
R. Mix,
G. Kühn, J. Friedrich, Bundesanstalt für Materialforschung
und –prüfung Berlin
"Neue Ergebnisse zur Copolymerisation
im Plasma" |
| 17.10 |
O. Gabriel,
K. Li, J. Meichsner, E.-M.-Arndt-Universität Greifswald
"Messung von CFx-Radikaldichten
mittels IR-TDLAS in fluorkohlenstoffhaltigen RF-
Plasmen" |
| 19.30 |
Abendvortrag mit Experimenten
Holger
Kersten, Institut für Niedertemperaturplasmaphysik
Greifswald
"Das Universum – eine
Welt des Plasmas" |
| Mittwoch, 19. März
2003 |
J.
Friedrich |
| 9.00 |
W.Möller,
Forschungszentrum Rossendorf
"Ionenbeschuß
aus Niederdruckplasmen" |
| 9.45 |
Stephan Mändl,
Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung Leipzig
"Stickstoff-Implantation
in Edelstahl: Mögliche Ursachen einer stark variablen Diffusivität" |
| 10.05 |
Frank Scholze,
M. Tartz, H. Neumann, Leibniz-Institut für Oberflächenmod.
Leipzig
"Konzept
und erste Ergebnisse zur elektrischen Steuerung des Ionenstrahlprofils
einer linearen Ionenstrahlquelle" |
| 10.25 |
Wolfgang Jacob,
Christian Hopf, Achim von Keudell,
Max-Planck-Institut für Plasmaphysik Garching
"Chemical Sputtering:
Was treiben Wasserstoffatome und –ionen gemeinsam auf der
Oberfläche von a-C:H-Schichten?" |
| 10.45 |
Pause |
W. Möller |
| 11.10 |
S. Jankuhn,
E. Hartmann, H. Neumann, F. Scholze, M. Tartz, G. Kornfeld *, Leibniz-
Institut für Oberflächenmodifizierung Leipzig,*Thales
Elektron Devices
"Simulation
und Validierung einer mehrstufigen Ionenstrahlquelle" |
| 11.30 |
Frank Simon*,
Manuela Hahn*,**, Gerit Frens***, Mirko Nitschke*, Dieter Pleul*,
*Institut für Polymerforschung Dresden, **Hochschule Zittau
/ Görlitz,
***Delft University of Technology
"Plasmamodifizierung
von Diamantoberflächen" |
| 11.50 |
Thomas Höche,
Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung Leipzig
"Elektronenmikroskopische Untersuchungen oberflächenmodifizierter
Substrate mittels
Elektronenenergieverlustspektroskopie" |
| 12.10 |
Andreas Holländer,
Fraunhofer-Institut angewandte Polymerforschung
"Radikale
bei der Plasmabehandlung von Polymeren" |
| 12.30 |
V. Brüser,
M. Heintze, W. Brandl, G. Marginean, H. Bubert, S. Haiber, Institut
für Niedertemperaturplasmaphysik Greifswald
"Oberflächenflächenmodifizierung
von Kohlenstoff-Nano-Fasern durch Plasmabehandlung" |
| 12.50 |
Mathias Nestler, Roth & Rau AG
"Inline–Bearbeitung
für Poly–Si-Solarzellen mit Plasma- und Ionenstrahlverfahren
für die industrielle Nutzung" |
| 13.10 |
Mittagspause |
| Donnerstag, 20. März
2003 |
K.
Ellmer |
| 9.00 |
J. Friedrich ,
G. Kühn, R. Mix, W. Unger, I. Koprinarov, Bundesanstalt für
Materialforschung und -prüfung Berlin
"Vergleich
plasmachemischer Methoden zur Funktionalisierung von Polymeroberflächen"
|
| 9.45 |
M. Geigl,
V. Kroutilina, H.-E. Wagner, J. Meichsner, E.-M.-Arndt-Universität
Greifswald
"Massenspektrometrische
Untersuchung neutraler Spezies in RF CF4-Plasmen" |
| 10.05 |
Darina Manova,
S. Mändl, B. Rauschenbach, Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizie-rung
Leipzig
"Interplay
of Ion bombardment, surface reaction and diffusion during nitriding
of aluminium" |
| 10.25 |
Volkmar Weiss,
Hahn-Meitner Institut Berlin
"In
situ-Analyse des Texturumschlags beim Wachstum von WSx-Schichten
mittels reaktiven Magnetron-Sputterns" |
| 10.45 |
Pause |
S. Mändl |
| 11.05 |
R. Wiese*,
H. Kersten** , F. Scholze***, H. Neumann***, *E.-M.-Arndt-Universität
Greifswald, **Institut für Niedertemperaturplasmaphysik Greifswald
, ***Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung Leipzig
"Ungewöhnliche Methoden zur Charakterisierung von Ionenstrahlquellen" |
| 11.25 |
Frank Frost,
B. Ziberi, Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung
Leipzig
"Oberflächendesign mit Ionenstrahlen - Ein
alternatives Nanostukturierungsverfahren" |
| 11.45 |
Kamel Silmy,
Fraunhofer Institut angewandte Polymerforschung
"Mikrojet-CVD
- ein kurzer Statusbericht" |
| 12.05 |
Harm Wulff,
E.-M.-Arndt-Universität Greifswald
"Röntgenographische
Charakterisierung von plasmagestützt abgeschiedenen ITO-Schichten" |
| 12.25 |
Norbert Koch, Günter Kornfeld, Thales
Electron Devices GmbH Ulm
"Der
HEMP-Antrieb - eine Alternative zu herkömmlichen Ionenquellen?" |
| 12.45 |
Mittagspause |
|
