Verbundprojekt zum in-situ Monitoring von Plasmaätzprozessen erfolgreich abgeschlossen


In dem vom Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF), mit rund 1,7 Mio. Euro geförderten Verbundvorhaben "SHAPION" wurde ein neues Verfahren zur effizienten Herstellung von mikrooptischen Oberflächen, basierend auf einem Plasmaätzprozess entwickelt und nach drei jähriger Laufzeit erfolgreich abgeschlossen. An der Entwicklungsarbeit waren die Kooperationspartner ZEISS, die NTG - Neue Technologien GmbH & Co. KG, die Metrolux GmbH sowie das Laser Zentrum Hannover e.V. (LHZ) beteiligt.

Die im Projekt aufgebaute Messtechnik wird nun an einer Pilotätzanlage am IOM Leipzig und bei Zeiss in Folgeprojekten weiter genutzt und erprobt werden.

http://www.photonikforschung.de/service/aktuellenachrichten/detailseite/archive/2016/02/29/article/neue-verfahren-und-praezise-ueberwachung-von-plasmaaetzprozessen/