"Ultrapräzisionsbearbeitung mit atomaren Teilchenstrahlen (UAT)"
Förderung von wirtschaftsorientierten Nachwuchsforschungsgruppen im Rahmen des Förderprogramms "InnoProfile" als Bestandteil der BMBF-Innovationsinitiative Neue Länder "Unternehmen der Region".
Die Nachwuchsforschungsgruppe befasst sich mit der Erforschung und Entwicklung von nichtkonventionellen Methoden zur Ultrapräzisions-Oberflächenformgebung. Es kommen hauptsächlich Ionenstrahlverfahren und reaktive atmosphärische Plasmajetverfahren zum Einsatz.
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Formgenauigkeit, Struktur und Funktionalität von Oberflächen bestimmen gegenwärtig immer mehr die Eigenschaften moderner Produkte. Oberflächenformen, die nahezu atomare Fertigungstoleranzen besitzen, sind bereits heute ein reales industrielles Erfordernis. Produkte mit solchen ultragenauen Oberflächen sind zum Beispiel optische Elemente wie Linsen, Spiegel oder auch präzisionsmechanische Teile für HighTech-Anwendungen im Halbleiterbereich und im wissenschaftlichen Gerätebau (Weltraumanwendung, Synchrotron-Strahlung, etc.).
Mit den steigenden Anforderungen an die Präzision von Oberflächen wachsen auch stetig die Ansprüche and die Verfahren zur Herstellung von Oberflächen. Technologien mit Wirkmechanismen auf atomarer Skale sind daher notwendig.
Die teilchenstrahlen-basierte Ultrapräzisionsbearbeitung von Oberflächen ist ein Teilgebiet der Nanotechnologie und beinhaltet die hochdeterministische Herstellung von exakten Oberflächenformen und -strukturen mit Fertigungsgenauigkeiten in der Bearbeitungstiefe bis in den Ångström-Bereich.
Dafür werden die Strahlwerkzeuge Ionenstrahl und atmosphärische reaktiver Plasmajet verwendet, welche die Genauigkeitsanforderungen auf atomarer Skale gewährleisten können.
Die zu bearbeitenden Flächen können von wenigen Quadratmillimetern bis zu einigen Quadratmetern ausgedehnt und plan, konkav bzw. konvex geformt sein oder Freiformflächen darstellen.
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