Dünnschichtcharakterisierung

Eine der Grundanforderungen an eine dünne Schicht ist in den meisten Fällen eine wohldefinierte, möglichst homogene Schichtdicke. Die Charakterisierung solcher dünner Schichten in Bezug auf Schichtdicke sowie Schichtdichte kann mit direkten oder indirekten Methoden erfolgen. Sowohl Einfachschichten als auch Multilagenschichten lassen sich damit untersuchen.

Analysetechniken: Ellipsometrie, XRR, optische/taktile Profilometrie, TEM, XPS