Form / Topographie

Die Topographie- und Formanalyse sowie der Nachweis von Oberflächendefekten ist entscheidend für die Entwicklung technologischer Fertigungsprozesse wie auch für Grundlagenexperimente. Neben optischen Baulementoberflächen (Linsen, Spiegel) bilden dünne Schichten (Metallisierungen, dielektische Beschichtungen, Polymerschichten) Gegenstand der Untersuchungen.

Analysetechniken: Interferometrie (Stitching, Weißlicht), AFM, Dynamische Lichtstreuung, Konfokalmikroskopie, optische/taktile Profilometrie