Universale Diagnostikplattform für reaktive Ionenstrahlprozesse

Ionenstrahlbasierte Abtragsprozesse unter Verwendung inerter Ionen zur Formgebung, Strukturierung und Glättung von Oberflächen haben in den letzten Jahren einen enormen Aufschwung erfahren und sind mittlerweile etablierte Schlüsseltechnologien, z. B. in der High-End-Optikfertigung. Insbesondere reaktive ionenstrahlbasierte Abtragsprozesse (Reactive Ion Beam Etching - RIBE) gewinnen zunehmend an Bedeutung. Hier werden, neben dem rein physikalischen Prozess der Zerstäubung, auch chemische Reaktionen zwischen der Oberfläche und dem reaktiven Ion (oder Radikal) ausgenutzt, wodurch zusätzlich Freiheitsgrade für den definierten Materialabtrag entstehen. Grundvoraussetzung ist jedoch, dass den stetig steigenden Genauigkeitsanforderungen in diesem Hochtechnologiesektor (Formgenauigkeit, Rauheit, Prozessstabilität und -kontrolle) entsprochen werden kann. Von zentraler Bedeutung sind dabei hochentwickelte und prozessangepasste reaktivgas-geeignete Ionenquellen, die bestimmten Anforderungen hinsichtlich Stabilität, prozess-angepasste Strahlzusammensetzung, Wartungszeiten, etc. genügen müssen. Aufgrund der applikations-gegebenen Notwendigkeit soll zukünftig verstärkt die Entwicklung und Optimierung prozess-angepasster Breitstrahlionenquellen vorangetrieben werden.

Voraussetzung für derartige technologische Entwicklungen ist eine ausgefeilte Diagnostikplattform zur Charakterisierung von reaktiven Ionenstrahlprozessen. Mit dem Aufbau der neuen universellen Diagnostikplattform soll einerseits die FuE-Infrastruktur auf dem Gebiet der Entwicklung als auch Anwendung von Breitstrahlionenquellen nachhaltig gestärkt und gesichert werden, Prozessgrundlagen und neue Anwendungen erarbeitet sowie eine Basis für den Transfer der zu erwartenden technologischen Ergebnisse in die industrielle Nutzung geschaffen werden.

Laufzeit. 2019 – 2021 
Fördersumme: 1.189.584,00 Euro
Projektträger: Sächsische Aufbaubank (SAB)

Kontakt:
Dr. Frank Frost
Gruppenleiter / Ionenstrahlgestützte Strukturierung und Glättung
Tel.: 49 (0)341 235-3309
E-Mail: frank.frost(at)iom-leipzig.de

Dr. Daniel Spemann
Gruppenleiter / Ionenquellenentwicklung und Anwendungen
Tel.: 49 (0)341 235-2681
E-Mail: daniel.spemann(at)iom-leipzig.de

Diese Infrastrukturmaßnahme wird mitfinanziert durch Steuermittel auf Grundlage des vom Sächsischen Landtag beschlossenen Haushaltes.