Laserstrahlgestützte Strukturierung und Anwendungen

Die Forschergruppe beschäftigt sich mit der Entwicklung laserinduzierter Prozesse zur Modifizierung und Strukturierung von Oberflächen und dünnen Schichten mit Anwendungsbereichen in der Mikro- und Nanotechnologie. Hierbei wird neben der Aufklärung der physikalischen Ursache des Laserprozesses eine Optimierung des Prozesses (geringe Strukturbreiten, präzise Einstellung der Abtragstiefe, selektiver Schichtabtrag, geringstmögliche Schädigung von Materialien oder Bauelementefunktionen) angestrebt. Die Modifizierung und Strukturierung erfolgt bevorzugt mit ultrakurzen Laserpulsen, die nichtthermische Laserphotonen-Material-Wechselwirkungen anregen und damit neue Materialbearbeitungsprozesse ermöglichen. Neben der Laserablation werden zunehmend auch innovative laserinduzierte Prozesse zur Mikro-/Nanostrukturierung und Materialmodifizierung genutzt.
Ausgewählte Publikationen
- X. Wang, M. Ehrhardt, P. Lorenz, C. Scheit, S. Ragnow, X.W. Ni, K. Zimmer, In-process measuring of the electrical shunt resistance of laser-scribed thin-film stacks by nested circular scribes, Rev. Sci. Instr. 84 (2013), 104704.
- M. Ehrhardt, P. Lorenz, F. Frost, K. Zimmer, Fabrication of sub-microstructures in solid copper surfaces by inverse laser microembossing, Applied Physics A: Materials Science & Processing 111 (2013), 517-523.
- M. Ehrhardt, A. Wehrmann, P. Lorenz, K. Zimmer, Patterning of CIGS thin films induced by rear-side laser ablation of polyimide carrier foil, Applied Physics A 113 (2013), 309-313
- A. Wehrmann, S. Puttnins, L. Hartmann, M. Ehrhardt, P. Lorenz, K. Zimmer, Analysis of laser scribes at CIGS thin-film solar cells by localized electrical and optical measurements, Optics & Laser Technology 44 (2012), 1753-1757.
- K. Zimmer, M. Ehrhardt, R. Böhme, Laser-Induced Backside Wet Etching: Processes, Results, and Applications, in: G. Yang (Ed.) Laser Ablation in Liquids, Pan Stanford Publishing Singapore (2012), 1013 - 1132.