Abteilung Präzisionsoberflächen

Die Forschungs- und Entwicklungsarbeiten in der Abteilung Präzisionsoberflächen des IOM Leipzig sind auf die Herstellung und die Modifizierung von Oberflächen und dünnen Schichten unterschiedlichster Materialien gerichtet, bevorzugt mittels Ionen- und Laserstrahl- bzw. Plasmaverfahren. Das Ziel dabei ist, diese Oberflächen und Schichten so zu gestalten, dass sie spezifischen Applikationen gerecht werden können. Neben entsprechenden Anlagen zur Modifizierung steht den Mitarbeitern des IOM auch ein umfangreicher Gerätepark für Untersuchungen zur Struktur, Topographie und Zusammensetzung sowie zur Bestimmung der mechanischen, optischen und elektrischen Eigenschaften zur Verfügung.

Neben der Bearbeitung von Fragenstellungen aus der Grundlagenforschung sind die Mitarbeiter der Abteilung an zahlreichen Technologieentwicklungs- und Transferprojekten beteiligt, insbesondere mit Firmen aus der optischen Industrie, der Mikroelektronik und des Maschinenbaus.

Forschungs- und Entwicklungsschwerpunkte der Abteilung Präzisionsoberflächen:

Schwerpunkt ist die Entwicklung von speziellen Strahlwerkzeugen, insbesondere Plasma- und Ionenstrahlquellen, die einen alleinstellenden Zugang zur Oberflächenmodifizierung einschließlich Formgebung, Glättung, Strukturierung, Schichtabscheidung, Funktionalisierung unterstützen bzw. ermöglichen.

Plasmajets bei Atmosphärendruck
Metall und Gasplasmaquellen
Ionenquellenentwicklung und Anwendungen

Die Forschungs- und Entwicklungsarbeiten konzentrieren sich auf Grundlagen der Ionen- und Laserstrahl-stimulierten Deposition und Modifizierung ausgewählter anorganischer Schichten sowie Mikro- und Nanostrukturen mit diesen Verfahren und deren Charakterisierung durch elektronenmikroskopische und andere hochauflösende Methoden.

Nichtthermische Abscheidung von Schichten und Strukturen
Nanostrukturforschung und Elektronenmikroskopie
Modifikation von Oberflächen und Biomaterialien mit energetischen Partikeln

Die Grundlagen und Anwendungen der Ionenstrahl-, Laserstrahl- und plasmagestützten Verfahren zur großflächigen Präzisionsformgebung und Glättung sowie zur Strukturerzeugung und Strukturübertragung im Mikrometer- und Nanometer-Bereich sind Schwerpunkte der Forschungs- und Entwicklungsarbeiten.

Ultrapräzisionsformgebung mit Plasmen und Ionen
Ionenstrahlgestützte Strukturierung und Glättung
Mikro- und Nanostrukturierung mit Lasern