Nichtthermische Abscheidung von Schichten und Strukturen

Im Mittelpunkt der Forschungsarbeiten steht die Aufklärung von Wachstumsprozessen sehr dünner Schichten und Nanostrukturen durch Anwendung von bevorzugt hyperthermischen Depositionsverfahren, die einen zusätzlichen Energie- bzw. Impulseintrag in die Schicht­ bzw. Nanostruktur erwarten lassen. Auf diese Weise können anwendungs­relevante mechanische, optische, elektro­ni­sche bzw. magnetische Eigen­schaften dieser Schichten bzw. Nanostrukturen signifikant verbessert werden. Drei unterschiedliche physikalische Synthese­routen, die Ionenstrahlgestützte Abscheidung (IBAD) bzw. Ionenstrahlgestützte Molekularstrahlepitaxie (IBA-MBE), die gepulste Laserablation (PLD) und die Ionen- und Elektronenstrahl unterstützte Glanzwinkeldeposition (GLAD), werden für die Herstellung dünner Funktionsschichten oder Nano­struk­­turen mit optimierten Eigen­schaf­ten verfolgt. Die Erforschung der Wachstumsprozesse bei der Synthese unterschiedlichster Materialsysteme erfolgt unter Einsatz moderner in situ- und ex situ-Analytik und dient sowohl der Erweiterung des Grundlagenverständnisses ionenstrahlgestützter Depositionsprozesse als auch der Technologieoptimierung.