Ionenstrahlgestützte Strukturierung und Glättung

zurück zur Übersicht

Ionenstrahl-induzierte Selbstorganisation

Nanostrukturen in InAs mit hexagonaler Nahordnung
Muster auf Silizium (Si) bei Kodeposition von Eisen (Fe) bzw. Molybdän (Mo)

Für bestimmte Bedingungen können bei Abtragsprozessen, verursacht durch den Beschuss mit niederenergetischen Ionen, selbstorganisierte Nanostrukturen auf den Oberflächen entstehen. In den vergangenen Jahren wurden dabei unterschiedlichste Muster, z. B. periodische Wellenstrukturen oder regelmäßig angeordnete Punktstrukturen, beobachtet. Diese Strukturen können auf verschiedensten Materialien erzeugt werden (z. B. Element- und Verbindungshalbleiter, Metalle, Oxide) und stellen somit eine vielversprechende, alternative und kosteneffiziente Methode zur großflächigen Nanostrukturierung dar. Zusätzliche Freiheitsgrade bietet darüber hinaus die simultane Abscheidung von Metallen während der Ionenbestrahlung.

  • Untersuchung von Selbstorganisationsprozessen bei der Ionenstrahlerosion von Oberflächen

  • Materialien (Auswahl): Element-und Verbindungshalbleiter, Metalle, Oxide, …

  • Strukturbildung bei der Kodeposition von Metallen, wie z.B. Eisen (Fe), Molybdän (Mo), Titan (Ti), …

  • Kombination mit top-down-Verfahren

 

 

 

Ausgewählte Publikationen

  • Y. Liu, D. Hirsch, R. Fechner, Y. Hong, S. Fu, F. Frost, B. Rauschenbach,
    Nanostructures on fused silica surfaces produced by ion beam sputtering with Al co-deposition,
    Appl. Phys. A 124 (2018) 73
    doi: 10.1007/s00339-017-1393-4

  • M. Teichmann, J. Lorbeer, F. Frost, B. Rauschenbach,
    Ripple coarsening on ion beam-eroded surfaces,
    Nanoscale Res. Lett. 9 (2014) 439
    doi: 10.1186/1556-276X-9-439

  • F. Frost, A. Schindler, F. Bigl,
    Roughness Evolution of Ion Sputtered Rotating InP Surfaces: Pattern Formation and Scaling Laws,
    Phys. Rev. Lett. 85 (19) (2000) 4116-4119
    doi: 10.1103/PhysRevLett.85.4116