Ionenstrahlgestützte Strukturierung und Glättung

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Transfer von Forschungsergebnissen

Die innerhalb des Schwerpunktes untersuchten Ionenstrahlgestützte Abtragstechnologien sind wichtige Basiswerkzeuge um ultrapräzis strukturierte sowie ultraglatte Oberflächen auf verschiedensten technologisch relevanten Materialien (optische Gläser und Glaskeramiken, Oxide, Halbleiter, Metalle, Polymere sowie Schichtsysteme aus diesen Materialien) zu erzeugen. Diese Prozesse gewinnen in der Optikentwicklung und –fertigung rasant an Bedeutung, wobei die Genauigkeitsanforderungen (Form, Tiefengenauigkeit, Rauheit) mittlerweile z. T. deutlich unter einem Nanometer liegen. Diesen Entwicklungen Rechnung tragend, ist der Technologietransfer ein zentrales Anliegen des FuE-Schwerpunktes.

  • Vorhalt der technologischen Infrastruktur zum Technologietransfer

  • Entwicklung von Strategien und Algorithmen zur Bearbeitung von Flächen bis 500 mm Ø

  • Adaption von Bearbeitungstechnologien an kundenspezifische Anforderungen

  • Bemusterung und Beratung im Kundenauftrag

  • IOM-Applikationszentrum (Flyer)