Mikro- und Nanostrukturierung mit Lasern

Die Forschergruppe beschäftigt sich mit der Entwicklung laserinduzierter Prozesse zur Modifizierung und Strukturierung von Oberflächen und dünnen Schichten mit Anwendungsbereichen in der Mikro- und Nanotechnologie. Hierbei wird neben der Aufklärung der physikalischen Ursache des Laserprozesses eine Optimierung des Prozesses (geringe Strukturbreiten, präzise Einstellung der Abtragstiefe, selektiver Schichtabtrag, geringstmögliche Schädigung von Materialien oder Bauelementfunktionen) angestrebt. Die Modifizierung und Strukturierung erfolgt bevorzugt mit ultrakurzen Laserpulsen, die nichtthermische Laserphotonen-Material-Wechselwirkungen anregen und damit neue Materialbearbeitungsprozesse ermöglichen. Neben der Laserablation werden zunehmend auch innovative laserinduzierte Prozesse zur Mikro-/Nanostrukturierung und Materialmodifizierung genutzt. Der Forschergruppe steht eine Vielzahl von verschiedenen industrienahen sowie für Grundlagenuntersuchungen geeignete Laserquellen zur Verfügung. Diese überdecken dabei einen Wellenlängenbereich von UV bis IR (λ = 248 nm bis λ = 1550 nm) sowie einen Pulslängenbereich von Femto- bis Submikrosekunden (tPuls = 150 fs bis tPuls = 0,6 µs). Diese Laserquellen sind in moderne, den Industriestandard entsprechende Materialbearbeitungsanlagen eingebunden. In diesen Laseranlagen kann die Laserbearbeitung durch Scanner sowie hochpräzise Achsensysteme durchgeführt werden. Neben diesen klassischen Bearbeitungstechniken stehen weitere Laserverfahrung zur Verfügung wie z.B. Maskenprojektion. Die Charakterisierung und Optimierung der Laserprozesse wird unterstützt durch eine Vielzahl von verschieden In situ- und Ex situ-Analysemethoden.