Ultrapräzisionsformgebung mit Plasmen und Ionen

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Ultrapräzise Ionenstrahlbearbeitung von Metalloberflächen

Grundlagen zur ionenstrahlgestützten Ultrapräzisions-Formgebung und Korrektur von optischen Oberflächen und Metalloberflächen

Die Untersuchungen zur ionenstrahlgestützte Ultrapräzisionsbearbeitung zielen auf die Bearbeitung von bisher nicht leicht zugänglichen Materialien wie Metalle ab. Insbesondere wird die Ionenstrahlbearbeitung von Aluminium als Material zur Herstellung von optischen Spiegeln untersucht und Verfahren zur Formkorrektur und Glättung komplex geformter Oberflächen entwickelt.

  • Direkte Ionenstrahlbearbeitung von Metalloberflächen zur Formkorrektur (Al, Cu, …)
  • Planarisierung/Glättung mit scannenden sub-Apertur-Ionenstrahlen


Ausgewählte Publikationen

  • J. Bauer, M. Ulitschka, F. Pietag, T. Arnold
    Improved ion beam tools for ultraprecision figure correction of curved aluminum mirror surfaces
    J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 4 (2018) 046003
    DOI: 10.1117/1.JATIS.4.4.046003

  • J. Bauer, F. Frost, T. Arnold
    Reactive ion beam figuring of optical aluminium surfaces
    J. Phys. D Appl. Phys. 50 (2017) 085101
    DOI: 10.1088/1361-6463/50/8/085101