Ionenquellenentwicklung und Anwendungen

Gegenstand der Arbeiten des FuE-Schwerpunktes „Ionenquellenentwicklung und Anwendungen“ sind die Technologien zur Entwicklung von Breitstrahl-Ionenquellen und Komponenten sowie deren Diagnostik, Grundlagenuntersuchungen zu den Wechselwirkungsprozessen energetischer Ionen mit Oberflächen sowie die Aufklärung der Korrelation von Dünnschichteigenschaften mit den Eigenschaften der schichtbildenden Teilchen. Im Bereich der Ionenimplantation werden Ionenstrahlen zur Oberflächenmodifikation und Materialsynthese eingesetzt. Im Rahmen des Leibniz Joint Labs „Einzelionenimplantation“ wird darüber hinaus ein System zur hochgenauen Platzierung einzelner Ionen für Anwendungen in den Quantentechnologien aufgebaut.

Detail einer Dual-Ion-Beam-Beschichtungsanlage mit zwei ECR-Ionenstrahlquellen (Zerstäubungsquelle links und Reinigungs- / Assistquelle rechts) sowie Neutralisatoren.
2D-Konturplot der in-situ XRD-Messungen während der Niederenergie-Ionenimplantation von Stickstoff in Stahl AISI 304