Plasmajets bei Atmosphärendruck

Miniaturisierte Plasmajetquelle
High-power Plasmajetquelle

Reaktive Atmosphärendruck-Plasmajetquellen

In diesem FuE-Schwerpunkt werden Atmosphärendruck-Plasmajetquellen sowie dazugehörige Ansteuerelektronik und Hochfrequenzgeneratoren entwickelt, die primär für das Anwendungsfeld der Ultrapräzisions-Oberflächenbearbeitung spezifiziert sind. In der Regel werden diese Plasmaquellen mit Hochfrequenz (MHz-GHz) angeregt und können mit reaktiven Gasen betrieben werden. Ziel der Arbeiten ist es, Quellen zur Erzeugung zeitlich und räumlich hochstabiler Plasmajets für spezifische Anwendungen wie lokale Ätz- und Abscheideprozesse sowie für die Oberflächenreinigung, -dekontamination und chemische Funktionalisierung zu entwickeln. Dazu werden auch Simulationstools zur Modellierung von Energie- und Masseflüssen an den Quellen für die Entwicklung eingesetzt. Plasmajetquellen und ihre notwendige Peripherie werden zu Systemen integriert und zusammen mit Unternehmenspartnern in die industrielle Praxis überführt.

Ausgewählte Publicationen

  • G. Böhm, Th. Arnold, H. Paetzelt
    Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasma- oder Radikalstrahles
    Gebrauchsmuster DE 202017103165 (2017)

  • A. Lehmann, F. Pietag, Th. Arnold
    Human health risk evaluation of a microwave-driven atmospheric plasma jet as medical device
    Clin. Plasma Med. 7-8 (2017) 16-23
    doi.org/10.1016/j.cpme.2017.06.001

  • Th. Arnold, A. Schindler
    Mass spectrometry at a Ar/SF6/O2 chemically reactive plasma jet
    Physica Status Solidi A 4 (2008) 957 - 960
    https://doi.org/10.1002/pssa.200778339


  • Th. Arnold, S. Grabovski, A. Schindler, H.-E. Wagner
    Spatially resolved mass spectrometry of reactive Ar/SF6/N2 plasma jets
    Surf. Coat. Tech. 200/1-4 (2005) 818-821
    doi.org/10.1016/j.surfcoat.2005.01.025