Neue universelle Diagnostikplattform für reaktive Ionenstrahlprozesse am IOM in Betrieb genommen

Lieferung der Anlage (Vakuumkammer) (Foto: S. Görsch)

Universelle Diagnostikplattform RISQ-DIAP im Applikationszentrum des IOM (Foto: F. Frost)

Blick in die Anlage, in der aktuell verschiedene Diagnostik-Techniken für reaktive Ionenstrahlprozesse implementiert werden (Foto: E. Rohkamm)

Erstinbetriebnahme einer Ionenquelle an der Diagnostikplattform (Foto: E. Rohkamm)

Seit Oktober 2019 wird mit öffentlichen Fördermitteln der Sächsischen Aufbaubank - Förderbank – SAB der Aufbau einer Diagnostikplattform zur Charakterisierung von reaktiven Ionenstrahlprozessen mit mehr als einer Million Euro gefördert und damit auch in die Weiterentwicklung der Infrastruktur des IOM investiert. In diesem Jahr konnte nun eine einzigartige Apparatur (Höhe: 3,8 m, Gewicht: 8,5 Tonnen) im Applikationszentrum des IOM installiert und in Betrieb genommen werden. Ziel der beiden IOM-Arbeitsgruppen „Ionenstrahlgestützte Strukturierung und Glättung“ und „Werkzeuge“ ist es nun, mit dieser Anlage einerseits die FuE-Arbeiten in Richtung Entwicklung und Optimierung prozess-angepasster Breitstrahlionenquellen für neue Anwendungen voranzutreiben und gleichzeitig die Basis für den Transfer der zu erwartenden technologischen Ergebnisse in die industrielle Nutzung zu schaffen. Das IOM verfügt auf diesem Technologiegebiet bereits über eine mehr als 40-jährige Erfahrung, auch in Kooperation mit Partnern aus Forschung und Industrie. Mit der neuen Diagnostikplattform wird das Forschungsgebiet am IOM nachhaltig gesichert und die unikale Stellung im Bereich der Entwicklung als auch Anwendung von Breitstrahlionenquellen für reaktive Ionenstrahlätzprozesse weiter ausgebaut.

Die Zuwendung wurde aus Mitteln des europäischen Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) und aus Steuermitteln auf Grundlage des vom Sächsischen Landtag beschlossenen Haushaltes zur Verfügung gestellt.