Dr. Frank Frost
Gruppenleiter "Ionenstrahlgestützte Strukturierung und Glättung" / Forschungsbereich "Ultra-Präzisionsoberflächen"
Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung (IOM)
Permoserstr. 15 / 04318 Leipzig / Germany
+49 (0)341 235-3309
+49-(0)15174214577
frank.frost(at)iom-leipzig.de
Arbeitsgebiete
- Grundlagen zur Ionen-Oberflächenwechselwirkung
- Ionenstrahlgestützte Strukturierung und Glättung von Oberflächen
- Technologieentwicklung zur Umsetzung der FuE-Ergebnisse in industrielle Anwendungen
- Analytik an mikro- und nanostrukturierten Oberflächen
Wissenschaftlicher Werdegang
- 1995 Diplom in Physik, Fakultät für Physik und Geowissenschaften, Universität Leipzig
- 1995 - 2003 Wissenschaftlicher Mitarbeiter, IOM
- 1998 Promotion zum Dr. rer. nat., Universität Leipzig
- 2003 – 2012 Gruppenleiter Schichtabscheidung und Strukturierung, IOM
- seit 2013 Gruppenleiter Ionenstrahlgestützte Strukturierung und Glättung, IOM
Ausgewählte Publikationen
- F. Frost, A. Schindler, F. Bigl, Roughness evolution of ion sputtered InP surfaces: Pattern formation and scaling laws, Physical Review Letters 85 (2000) 4116
- F. Frost, R. Fechner, B. Ziberi, J. Völlner, D. Flamm, A. Schindler (topical review), Large area smoothing of surfaces by ion bombardment: Fundamentals and applications, Journal of Phys-ics: Condensed Matter 21 (2009) 224026
- M. Teichmann, J. Lorbeer, B. Ziberi, F. Frost, B. Rauschenbach, Pattern formation on Ge by low energy ion beam erosion, New Journal of Physics 15 (2013) 103029
- Y. Li, H. Takino, F. Frost, Ion beam planarization of diamond turned surfaces with various roughness profiles, Opt. Express 25 (2017) 7828
- A. Finzel, G. Dornberg, S. Görsch, M. Mitzschke, J. Bauer, F. Frost, Realization of depth ref-erence samples with surfaces amplitudes between 0.1 nm and 5 nm, EPJ Web. Conf. EOS Optical Technologies 215 (2019) 03004
Konferenzbeiträge
A. Finzel, G. Dornberg, S. Görsch, M. Mitzschke, J. Bauer, F. Frost, Realization of depth reference samples with surfaces amplitudes between 0.1 nm and 5 nm, EOS Optical Technologies: Optofluidics and Manufacturing, Tolerancing, and Testing of Optical Systems, München, Germany, 24.-27.06. 2019
M. Ulitschka, J. Bauer, F. Frost, T. Arnold, Reactive ion beam etching-based planarization of optical aluminium surfaces, SPIE Optics + Optoelectronics, EUV and X-ray Optics: Synergy between Laboratory and Space, Prague, Czech Republic, 01.-04.04. 2019
J. Bauer, F. Frost, Orientation-dependent nanostructuring of titanium surfaces by low-energy ion-beam treatment, 18th European Conf. on Applications of Surface and Interface Analysis, Dresden, Germany, 15.-20.09. 2019
F. Frost, Reactive Ion Beam Etching (RIBE) for the manufacturing of highly precise optical elements, 2nd NTG IBF Conf. on the occasion of the 50th company anniversary of NTG, Gelnhausen, Germany, 21.09. 2018
F. Frost, Ion beam assisted patterning and smoothing of optical surfaces with sub-nanometer precision, 4th Int. Summer School on Trends in Ultra-Precision Surface Engineering, Leipzig, Germany, 03.-07.09. 2018
Projekte
- DFG-Forschergruppe FOR 845 „Selbstorganisierte Nanostrukturen durch niederenergetische Ionenstrahlerosion“, 2007 – 2015, DFG, Universität Münster, Forschungszentrum Dresden-Rossendorf, Universität zu Köln, Universität Kaiserslautern, Universität Siegen
- „SHAPION - Effiziente Produktion ultrapräziser innovativ strukturierter funktioneller Oberflächen mittels adaptiver Plasmatechnik“, 05/2012-10/2015, BMBF, Carl Zeiss Jena GmbH, Laser Zentrum Hannover e. V., NTG Neue Technologien GmbH & Co. KG, Metro Lux Gesellschaft für optische Meßtechnik mbH
- „Universale Diagnostikplattform für reaktive Ionenstrahlprozesse (RISQ-DIAP)“, 10/2019 – 07/2021, SAB/EFRE
- „KMU-innovativ: Erforschung einer Ionenstrahlplanarisierungstechnologie zur Rauheitsverbesserung von diamant-gedrehten bzw. gefrästen NiP-Oberflächen mit Rauheiten im Ångström-rms-Bereich (IONENPLAN)“, 05/2020 – 04/2022, BMBF, NTG Neue Technologien GmbH & Co. KG, Carl Zeiss SMT GmbH
- “IC Technology for the 2nm Node”, 06/2020 – 05/2023, EU/ECSEL, 31 Partner
Lehrveranstaltungen
Aufbaustudium „Analytik & Spektroskopie“, Fakultät für Chemie und Mineralogie, Universität Leipzig
Weitere Aktivitäten
- 2001 – 2008 (wieder) gewähltes Mitglied des Wissenschaftlich-Technischen Rates des IOM (Mitglied und Vorsitzender)
- Mit-Organisator MRS 2013 Fall Meeting: Symposium WW - Self-Organization and Nanoscale Pattern Formation
- Mitglied Programmkomitee der “EOS Conference on Manufacturing, Tolerancing and Testing of Optical Systems”
- Gutachter Reviewer National Science Foundation (NSF, USA), Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG), U.S. Department of Justice, USA
- Gutachter u.a. für Phys. Rev. Lett., Phys. Rev. B, New J. Phys., Surf. Sci., Appl. Phys. Lett., Nanotechnology, Eur. Phys. Lett.
- 2017 Mitgründer und Mitgesellschafter der Trionplas GmbH
Auszeichnungen
- Wissenschafts- und Technologiepreis des Vereins und des Vorstandes des Leibniz-Instituts für Oberflächenmodifizierung e.V. (IOM), 2012