Prof. Dr. Thomas Arnold

Leiter des Forschungsbereiches "Ultra-Präzisionsoberflächen"
Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung (IOM)
Permoserstr. 15 / 04318 Leipzig / Germany
+49 (0)341 235-3120
thomas.arnold(at)iom-leipzig.de
Arbeitsgebiete
- Grundlagen plasmabasierter Oberflächen-Präzisionsbearbeitungsprozesse
- Grundlagen zur ionenstrahlgestützten Ultrapräzisions-Formgebung und Korrektur von optischen Oberflächen und Metalloberflächen
- Prozesskettenentwicklung zur Ultrapräzisionsbearbeitung
- Entwicklung von Reaktivgas-Plasmajetquellen
- Optische Oberflächenformmesstechnik
Wissenschaftlicher Werdegang
- 1995-2000 Studium der Physik, Universität Leipzig
- 2005 Promotion zum Dr. rer. nat., Universität Leipzig
- 2005-2007 Wissenschaftlicher Mitarbeiter/ PostDoc, IOM
- Seit 2008 Gruppenleiter Prozessentwicklung Plasma- und Ionentechnologie, IOM
- Seit 2014 Professor für Ultrapräzisionsbearbeitung von Oberflächen mit Ionen und Plasmen, Fakultät Maschinenwesen, Technische Universität Dresden
Ausgewählte Publikationen
- M. Ulitschka, J. Bauer, G. Dornberg, F. Frost, T. Arnold, Local smoothing of optical aluminum surfaces by reactive ion beam etching, Opt. Eng. 59 (2020) 035108, 10.1117/1.OE.59.3.035108
- F. Kazemi, G. Boehm, T. Arnold, An investigation on effectiveness of temperature treat-ment for fluorine-based reactive plasma jet machining of N-BK7®, Plasma Process Polym. 17 (2020) e2000016, 10.1002/ppap.202000016
- M. Ulitschka, J. Bauer, F. Frost, T. Arnold, Ion beam planarization of optical aluminum sur-faces, J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 6 (2020) 014001, 10.1117/1.JATIS.6.1.014001
- T. Arnold, G. Boehm, F. Kazemi, Advances in precision freeform manufacturing by plasma jet machining, EPJ Web Conf. 238 (2020) 03001, /10.1051/epjconf/202023803001.
- J. Bauer, F. Frost, A. Lehmann, M. Ulitschka, Y. Li, T. Arnold, Finishing of metal optics by ion beam technologies, Opt. Eng. 58 (2019) 092612, 10.1117/1.OE.58.9.092612.
- F. Kazemi, G. Boehm, T. Arnold, Development of a model for ultra-precise surface machin-ing of N-BK7® using microwave-driven reactive plasma jet machining, Plasma Process Polym. 16 (2019) 1900119, 10.1002/ppap.201900119.
- J. Bauer, M. Ulitschka, F. Pietag, T. Arnold, Improved ion beam tools for ultraprecision fig-ure correction of curved aluminum mirror surfaces, J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 4 (2018) 046003, 10.1117/1.JATIS.4.4.046003
- Th. Arnold, G. Boehm, H. Paetzelt, New Freeform Manufacturing Chains based on atmos-pheric Plasma Jet Machining,J. Eur. Opt. Soc.-Rapid 11 (2016) 16002, 10.2971/jeos.2016.16002.
- H. Paetzelt, G. Böhm, Th. Arnold, Etching of silicon surfaces using atmospheric plasma jets, Plasma Sources Sci. Technol. 24 (2015) 025002
- P. Piechulla, J. Bauer, G. Boehm, H. Paetzelt, Th. Arnold, Etch Mechanism and Temperature Regimes of an Atmospheric Pressure Chlorine-Based Plasma Jet Process, Plasma Process. Polym. 13 (2016) 1128-1135, 10.1002/ppap.201600071
Konferenzbeiträge
- F. Kazemi, G. Boehm, T. Arnold, Optical freeform generation of N-BK7 by fluorine-based plasma jet machining Proc. SPIE 11478, Seventh European Seminar on Precision Optics Manufacturing (2020) 1147805, DOI: 10.1117/12.2564913,
- T. Arnold*, G. Boehm, F. Kazemi, Advances in precision freeform manufacturing by plasma jet machining, European Optical Society Annual Meeting 2020, Porto, Portugal, 07.-11.09. 2020
- T. Arnold*, G. Boehm, F. Kazemi, H. Mueller, H. Paetzelt, Precision freeform surface manufacturing and surface structuring using atmospheric plasma jets, EUSPEN Virtual Special Interest Group Meeting: Structured & Freeform Surfaces, 06.-08.10. 2020
- J. Bauer*, M. Ulitschka, F. Frost, T. Arnold, Figuring Of Optical Aluminium Devices By Reactive Ion Beam Etching, EOS Optical Technologies: Optofluidics and Manufacturing, Tolerancing, and Testing of Optical Systems, München, Germany, 24.-27.06. 2019
- Th. Arnold*, J. Bauer, F. Pietag, Advancements in Ion Beam Figuring, OSA Optical Design and Fabrication Congress, Washington, DC, USA, 10.-12.06. 2019
Projekte
- Optimierung diamant-zerspanter RSA-Al501–Oberflächen für optische Anwendungen, 2021-2022, DFG, TU Berlin
- InnoProfile-Transfer „Ultrapräzisionsbearbeitung mit atomaren Teilchenstrahlen“, 2014-2019, BMBF
- Entwicklung von Plasma-basierten Verfahren Dekontamination von Slicermessern, 2017-2019, FEI/AiF, Uni Leipzig
- Industrietaugliche Realisierung der PWM gesteuerten Ionenstrahlpräzisionsbearbeitung – PulsION, 2016-2019, ZIM
- InnoProfile „Ultrapräzisionsbearbeitung mit atomaren Teilchenstrahlen“, 2008-2012, BMBF
Lehrveranstaltungen
- „Mikro- und Ultrapräzisionsbearbeitung“, Maschinenbau/ Produktionstechnik, Fakultät Maschinenwesen, TU Dresden
- International Summer School „Trends in energy and particle beam ultra-precision optical surface manufacturing” SS 2015, 2016, 2017, 2018, Maschinenbau/ Produktionstechnik, Fakultät Maschinenwesen, TU Dresden
Mitgliedschaften
- CC-UPOB e.V., Mitglied
- DGaO, Mitglied
- Optical Society of America (OSA)
Auszeichnungen
- Wissenschafts- und Technologiepreis des Vereins und des Vorstandes des Leibniz-Instituts für Oberflächenmodifizierung e.V., 2010