Prof. Dr. Thomas Arnold

Leiter des Forschungsbereiches "Ultra-Präzisionsoberflächen"

Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung (IOM)
Permoserstr. 15 / 04318 Leipzig / Germany

+49 (0)341 235-3120
   thomas.arnold(at)iom-leipzig.de

Arbeitsgebiete

  • Grundlagen plasmabasierter Oberflächen-Präzisionsbearbeitungsprozesse
  • Grundlagen zur ionenstrahlgestützten Ultrapräzisions-Formgebung und Korrektur von optischen Oberflächen und Metalloberflächen
  • Prozesskettenentwicklung zur Ultrapräzisionsbearbeitung
  • Entwicklung von Reaktivgas-Plasmajetquellen
  • Optische Oberflächenformmesstechnik

Wissenschaftlicher Werdegang

  • 1995-2000 Studium der Physik, Universität Leipzig
  • 2005 Promotion zum Dr. rer. nat., Universität Leipzig
  • 2005-2007 Wissenschaftlicher Mitarbeiter/ PostDoc, IOM
  • Seit 2008 Gruppenleiter Prozessentwicklung Plasma- und Ionentechnologie, IOM
  • Seit 2014 Professor für Ultrapräzisionsbearbeitung von Oberflächen mit Ionen und Plasmen, Fakultät Maschinenwesen, Technische Universität Dresden

Ausgewählte Publikationen

  1. M. Ulitschka, J. Bauer, G. Dornberg, F. Frost, T. Arnold, Local smoothing of optical aluminum surfaces by reactive ion beam etching, Opt. Eng. 59 (2020) 035108, 10.1117/1.OE.59.3.035108
  2. F. Kazemi, G. Boehm, T. Arnold, An investigation on effectiveness of temperature treat-ment for fluorine-based reactive plasma jet machining of N-BK7®, Plasma Process Polym. 17 (2020) e2000016, 10.1002/ppap.202000016
  3. M. Ulitschka, J. Bauer, F. Frost, T. Arnold, Ion beam planarization of optical aluminum sur-faces, J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 6 (2020) 014001, 10.1117/1.JATIS.6.1.014001
  4. T. Arnold, G. Boehm, F. Kazemi, Advances in precision freeform manufacturing by plasma jet machining, EPJ Web Conf. 238 (2020) 03001, /10.1051/epjconf/202023803001.
  5. J. Bauer, F. Frost, A. Lehmann, M. Ulitschka, Y. Li, T. Arnold, Finishing of metal optics by ion beam technologies, Opt. Eng. 58 (2019) 092612, 10.1117/1.OE.58.9.092612.
  6. F. Kazemi, G. Boehm, T. Arnold, Development of a model for ultra-precise surface machin-ing of N-BK7® using microwave-driven reactive plasma jet machining, Plasma Process Polym. 16 (2019) 1900119, 10.1002/ppap.201900119.
  7. J. Bauer, M. Ulitschka, F. Pietag, T. Arnold, Improved ion beam tools for ultraprecision fig-ure correction of curved aluminum mirror surfaces, J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 4 (2018) 046003, 10.1117/1.JATIS.4.4.046003
  8. Th. Arnold, G. Boehm, H. Paetzelt, New Freeform Manufacturing Chains based on atmos-pheric Plasma Jet Machining,J. Eur. Opt. Soc.-Rapid 11 (2016) 16002, 10.2971/jeos.2016.16002.
  9. H. Paetzelt, G. Böhm, Th. Arnold, Etching of silicon surfaces using atmospheric plasma jets, Plasma Sources Sci. Technol. 24 (2015) 025002
  10. P. Piechulla, J. Bauer, G. Boehm, H. Paetzelt, Th. Arnold, Etch Mechanism and Temperature Regimes of an Atmospheric Pressure Chlorine-Based Plasma Jet Process, Plasma Process. Polym. 13 (2016) 1128-1135, 10.1002/ppap.201600071

Konferenzbeiträge

  • F. Kazemi, G. Boehm, T. Arnold, Optical freeform generation of N-BK7 by fluorine-based plasma jet machining Proc. SPIE 11478, Seventh European Seminar on Precision Optics Manufacturing (2020) 1147805, DOI: 10.1117/12.2564913,
  • T. Arnold*, G. Boehm, F. Kazemi, Advances in precision freeform manufacturing by plasma jet machining, European Optical Society Annual Meeting 2020, Porto, Portugal, 07.-11.09. 2020
  • T. Arnold*, G. Boehm, F. Kazemi, H. Mueller, H. Paetzelt, Precision freeform surface manufacturing and surface structuring using atmospheric plasma jets, EUSPEN Virtual Special Interest Group Meeting: Structured & Freeform Surfaces, 06.-08.10. 2020
  • J. Bauer*, M. Ulitschka, F. Frost, T. Arnold, Figuring Of Optical Aluminium Devices By Reactive Ion Beam Etching, EOS Optical Technologies: Optofluidics and Manufacturing, Tolerancing, and Testing of Optical Systems, München, Germany, 24.-27.06. 2019
  • Th. Arnold*, J. Bauer, F. Pietag, Advancements in Ion Beam Figuring, OSA Optical Design and Fabrication Congress, Washington, DC, USA, 10.-12.06. 2019

Projekte

  • Optimierung diamant-zerspanter RSA-Al501–Oberflächen für optische Anwendungen, 2021-2022, DFG, TU Berlin
  • InnoProfile-Transfer „Ultrapräzisionsbearbeitung mit atomaren Teilchenstrahlen“, 2014-2019, BMBF
  • Entwicklung von Plasma-basierten Verfahren Dekontamination von Slicermessern, 2017-2019, FEI/AiF, Uni Leipzig
  • Industrietaugliche Realisierung der PWM gesteuerten Ionenstrahlpräzisionsbearbeitung – PulsION, 2016-2019, ZIM
  • InnoProfile „Ultrapräzisionsbearbeitung mit atomaren Teilchenstrahlen“, 2008-2012, BMBF

Lehrveranstaltungen

  • „Mikro- und Ultrapräzisionsbearbeitung“, Maschinenbau/ Produktionstechnik, Fakultät Maschinenwesen, TU Dresden
  • International Summer School „Trends in energy and particle beam ultra-precision optical surface manufacturing” SS 2015, 2016, 2017, 2018, Maschinenbau/ Produktionstechnik, Fakultät Maschinenwesen, TU Dresden

Mitgliedschaften

  • CC-UPOB e.V., Mitglied
  • DGaO, Mitglied
  • Optical Society of America (OSA)

Auszeichnungen

  • Wissenschafts- und Technologiepreis des Vereins und des Vorstandes des Leibniz-Instituts für Oberflächenmodifizierung e.V., 2010

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