Das Ziel des 10ÅCe-Projekts ist es, Lösungen für die 10Å-CMOS-Chiptechnologie zu erforschen und zu realisieren. Das Projekt-Konsortium deckt die gesamte Wertschöpfungskette für die Herstellung der CMOS-Chips im 10 Ångstrom Technologieknoten ab, also vom Chipdesign über die Lithographie bis hin zur Prozesstechnik und schließlich der Chipmesstechnik. Wesentliche Teile der Hardware-, Software- und Verarbeitungstechnologie werden entwickelt, um die Grenzen des Halbleiterdesigns und der Halbleiterherstellung zu erweitern, um den neuen 10 Ångstrom Technologieknoten zu ermöglichen und das Mooresche Gesetz am Leben zu erhalten.
Link EU: https://cordis.europa.eu/project/id/101139972

Nationale Ko-Finanzierung mit jeweils 50% durch das BMBF und SMWA im Verbundprojekt „Technologien für die 10 Ångstrom-Lithographie in der Chip-Produktion - 10ÅCe“ innerhalb des europäischen Mikroelektronikförderprogramms CHIPS.
Link: https://www.elektronikforschung.de/projekte/10ace

Laufzeit: 05/2024 - 04/2027 
Projektsumme (gesamt): 98.128.492,75 Euro
Projektsumme IOM: 999.481,25 Euro
Förderprogramm: HORIZON.2.4 - Digitales, Industrie und Raumfahrt, HORIZON.2.4.2 - Key Digital Technologies
Koordination: ASML NETHERLANDS B.V.

Kooperationspartner: 30

Kontakt IOM:
Dr. Frank Frost
Forschungsbereich Ultra-Präzisionsoberflächen / Ionenstrahlgestützte Strukturierung und Glättung
Tel.: 49 (0)341 235-3309
E-Mail: frank.frost(at)iom-leipzig.de