Eine der Schlüsseltechnologien der Digitalisierung ist die Mikroelektronik. Für die technologische Souveränität Europas ist die Beherrschung dieser Technologie entscheidend. Die EU fördert gemeinsam mit den Mitgliedsstaaten im Rahmen der European Partnership for Microelectronics Research and Technology innovative Forschungsprojekte und Pilotlinien im Bereich der Mikroelektronik, u.a. das Verbundprojekt „10 Angstrom CMOS exploration“ mit 30 Kooperationspartnern aus Industrie und Forschung, darunter auch das IOM. Schwerpunkte in Deutschland sind dabei multifunktionale Elektroniksysteme, energiesparende Leistungselektronik, Design komplexer Systeme sowie Produktionstechnologien, die im Rahmen des europäischen Mikroelektronik-Förderprogramms CHIPS zu je 50% vom BMBF und SMWA im Verbundprojekt ebenfalls mit IOM-Beteiligung „Technologien für die 10 Ångstrom-Lithographie in der Chip-Produktion - 10ÅCe“ kofinanziert werden.

Mit seiner langjährigen Expertise in der Hardware- und Prozessentwicklung ionenstrahlgestützter Ätztechnologien tragen Forschende des Forschungsbereiches „Ultra-Päzisionsoberflächen / Ionenstrahlgestützte Strukturierung und Glättung“ des IOM in den nächsten 3 Jahren dazu bei, den Stand der Technik im Bereich der 10 Ångstrom-Lithographie voranzutreiben. Ziel ist es, ein grundlegendes Verständnis z.B. des Ätzprozesses auf Oberflächen sowohl auf atomarer als auch auf mesoskopischer Skala zu erlangen, um die Entwicklung, Charakterisierung und Optimierung entsprechender Ätzwerkzeuge und Werkzeugfunktionen zu ermöglichen. Als Ergebnis soll eine fortschrittliche Fertigungstechnologie entwickelt werden, um die Qualität der Oberflächenstrukturierung zu verbessern.

Ein weiterer direkter Effekt dieser Kooperation ist die weitere Steigerung der Innovationsfähigkeit und Attraktivität des IOM als Forschungseinrichtung mit dem Schwerpunkt Ionenstrahltechnologien und die Stärkung seiner Wettbewerbsfähigkeit. Generell kann sie dazu beitragen, die Produktion einer Vielzahl optischer Elemente auf ein neues Qualitätsniveau zu heben. Davon profitiert ein breites Spektrum von Industrieunternehmen in Europa, von den Herstellern der notwendigen Ionenstrahlbearbeitungsanlagen bis hin zu den Endanwendern der entsprechenden Optiken. Für Sachsen bedeutet die Verwertung der Forschungsergebnisse und der angestrebte Technologietransfer in hochinnovative Anwendungen gemeinsam mit einem technologisch führenden Industriepartner eine Stärkung der Entwicklungs- und Fertigungskompetenz seiner Forschungseinrichtungen und Anlagenbauer.