Wie können die nächsten Schritte in der Halbleitertechnologie in Europa ermöglicht werdenen? Mit dieser Frage beschäftigte sich des Projektmeeting 10 Ångstrom CMOS Exploration (10ÅCe), das am 18. und 19. Juni 2026 bei derEV Groupin St. Florian am Inn (Österreich) stattfand.
Das Treffen brachte europäische Partner aus Forschung und Industrie zusammen, um die im zweiten Projektjahr erzielten Fortschritte vorzustellen. Im Mittelpunkt standen Ergebnisse, Meilensteine und Veröffentlichungen, die ein klares Bild vom Fortschritt des Konsortiums vermittelten. In den kommenden Wochen werden die Gutachter*innen den Projektfortschritt bewerten.
Für das IOM, das durch Dr. Erik Rohkammund Peter Birtel vertreten wurde, war das Treffen eine wichtige Gelegenheit, um Fortschritte zu teilen und sich mit Partnern entlang der gesamten Halbleiter-Wertschöpfungskette auszutauschen. Im Rahmen von 10ÅCe bringt das IOM seine langjährige Expertise in den Bereichen ionenstrahlgestützte Strukturierung und Glättung ein.
Im Mittelpunkt des Projekts steht die Verbesserung von Maschinen, Werkzeugen und Prozessen, die künftige Fortschritte in der Chiptechnologie ermöglichen sollen. Durch die Entwicklung und Verfeinerung von Technologien für die Fertigung und Messtechnik unterstützt 10ÅCe das langfristige Ziel, zukünftige10 Å CMOS Chiptechnologien zu ermöglichen. Der Beitrag des IOM hilft dabei, die hohen Anforderungen an Oberflächen und Strukturierung zu erfüllen, die für solche Ansätze der nächsten Generation erforderlich sind.
Die bei dem Review Meeting vorgestellten Fortschritte spiegeln die starke Zusammenarbeit wider. Um die ehrgeizigen Ziele von 10ÅCe zu erreichen, sind enge Koordination, wissenschaftliche Offenheit und gemeinsames Engagement über institutionelle und disziplinäre Grenzen hinweg erforderlich. Das Meeting zeigte, wie europäische Partner zusammenarbeiten, um Schlüsselkompetenzen in der Mikroelektronik zu stärken.
Über das Review Meeting hinaus erhielten die Teilnehmer wertvolle Einblicke in die Reinraum- und Testinfrastruktur der EV Group. Eine geführte Fenstertour bot einen beeindruckenden Einblick in das technologische Umfeld, in dem fortschrittliche Halbleiterausrüstung entwickelt und getestet wird.
Das IOM bedankt sich herzlich bei derEV Groupfür die Bereitstellung eines hervorragenden Rahmens für dieses produktive und inspirierende Treffen. Als Horizon Europe-Projekt im Rahmen des Chips Joint Undertaking (Chips JU)trägt 10ÅCe zur europäischen Zusammenarbeit, zur technologischen Souveränität und zur zukünftigen Wettbewerbsfähigkeit in der Mikroelektronik bei.