Workshop "Oberflächentechnologien mit Plasma- und Ionenstrahlverfahren"

Seit 1993 findet jährlich im März der Erfahrungsaustausch "Oberflächentechnologie mit Plasma- und Ionenstrahlprozessen" im Vogtland statt. Er wird organisiert vom Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e. V. Leipzig (IOM) und dem Lehrstuhl Experimentelle Physik I der Ernst-Moritz-Arndt-Universität Greifswald. Die Veranstaltung beinhaltet sowohl grundlagen- als auch technologieorientierte Beiträge zur Plasma-Festkörper-Wechselwirkung, Diagnostik von Plasma- und Ionenstrahlquellen und der Analyse und Charakterisierung plasmabehandelter Oberflächen.

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IOM e. V. Leipzig
André Anders
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D-04318 Leipzig
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