In einem vom BMBF und dem Netzwerk GRAVOmer geförderten Verbundprojekt wollen Forschende des IOM-Forschungsbereiches „Reaktive Ionenstrahl-gestützte Strukturierung und Glättung“ gemeinsam mit der Carl ZEISS Jena GmbH und der scia Systems GmbH neuartige ionenstrahlbasierte Fertigungsverfahren etablieren, mit denen geneigte Oberflächenprofile (Blaze-Profile) für diffraktive optische Elemente (DOE) realisiert werden, die mit bisherigen Technologien nicht zugänglich sind. Hierzu soll eine neue Ionenstrahlätztechnologie zur Herstellung monolithischer, geblazter Silizium-Beugungsgitter für Beamline-Anwendungen im VUV-, EUV- und Röntgenbereich auf Basis lithographischer Strukturdefinition entwickelt werden. Insbesondere können im Erfolgsfall enorme Leistungssteigerungen durch schärfer definierte Blaze-Flanken, insbesondere vor dem Hintergrund stetig abnehmender Blaze-Winkel, realisiert werden.
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Laufzeit: 01/24 - 12/25 
Projektsumme (gesamt): 1,47 Mio Euro
Projektsumme IOM: 352.325,30 Euro
Förderprogramm: BMBF, Verbundprojekt im Bündnis GRAVOmer
Kooperationspartner: Carl Zeiss Jena GmbH, scia Systems GmbH

Kontakt IOM:
Dr. Frank Frost
Forschungsbereich Ultra-Präzisionsoberflächen / Ionenstrahlgestützte Strukturierung und Glättung
Tel.: 49 (0)341 235-3309
E-Mail: frank.frost(at)iom-leipzig.de